Qu’est-ce que l’acide fluorhydrique 49 % de qualité semi-conducteur ?
De l’acide fluorhydrique aqueux (CAS 7664-39-3) de 48,8 à 49,2 % en masse de HF, spécifié en grades semi-conducteur 1, 2 et 3. Les grades diffèrent par la couleur (≤ 10 ou ≤ 5 APHA), le H2SiF6 (≤ 5 ou ≤ 1 ppm), les chlorures, nitrates et phosphates (≤ 20 ou ≤ 10 ppb), les sulfates (≤ 50 ou ≤ 10 ppb), chacun des 34 métaux traces indiqués (≤ 1, ≤ 0,1 ou ≤ 0,01 ppb) et le nombre de particules par mL. Selon l’EPA (Agence américaine de protection de l’environnement), le HF aqueux d’ultra-haute pureté utilisé dans la fabrication des puces semi-conductrices est généralement acheté sous sa forme la plus concentrée, à 49 %, mais il est le plus souvent utilisé en solutions beaucoup plus diluées, de 1 à 10 %.
- ▸ Procédés par voie humide en semi-conducteurs: selon l’EPA, le HF aqueux d’ultra-haute pureté utilisé dans la fabrication des puces semi-conductrices est généralement acheté sous sa forme la plus concentrée, à 49 %, mais il est le plus souvent utilisé en solutions beaucoup plus diluées, de 1 à 10 %.
- ▸ Gravure d’oxyde tamponnée (BOE): les solutions de gravure d’oxyde tamponnées NH4F:HF sont couramment utilisées en fabrication électronique, car elles offrent des vitesses de gravure plus stables que le HF non tamponné et une pression de vapeur comparativement plus faible. Dans les BOE NH4F:HF du commerce, le rapport indiqué (par exemple 6:1 ou 20:1) est généralement le rapport en volume entre une solution de NH4F à 40 % en masse et du HF à 49 % en masse.
- ▸ Élimination de l’oxyde natif: la gravure par solutions fluorées aqueuses (HF et NH4F:HF) a été utilisée sur le verre de silice pour le nettoyage du verre, l’élimination de l’oxyde natif lors du traitement des plaquettes de silicium et la gravure de réseaux de diffraction et d’autres structures sur verre.
La fiche technique indique des limites de spécification par grade ; elle ne donne ni valeurs typiques ni méthodes d’essai. Les spécifications qui font foi sont celles figurant sur le certificat d’analyse (CoA) propre au lot et dans le contrat de vente. Consultez la fiche de données de sécurité (FDS) avant toute manipulation.
La fiche de données de sécurité (SDS) spécifique au grade — avec la classification complète des dangers, les précautions de manipulation et les informations de transport — est fournie avec chaque expédition et disponible sur demande. Vérifiez toutes les informations de sécurité et réglementaires par rapport à la SDS de votre grade spécifique.
Demander la SDS →
Transport classification per the UN Model Regulations / 49 CFR 172.101 Hazardous Materials Table. Confirm against the grade-specific SDS (Section 14) before shipping.
L’acide fluorhydrique 49 % de qualité semi-conducteur (CAS 7664-39-3) est un acide fluorhydrique spécifié pour un usage en semi-conducteurs, en grades 1, 2 et 3, avec des limites portant sur les anions, 34 métaux traces et les particules. La fiche technique (PDF, en anglais) se télécharge dans la rubrique « Documents » de cette page.
Questions fréquentes
Quels grades la fiche technique spécifie-t-elle ?
Les grades semi-conducteur 1, 2 et 3. Les trois ont une teneur en HF de 48,8 à 49,2 % en masse ; ils diffèrent par leurs limites de couleur, de H2SiF6, d’anions, de métaux traces et de particules. Le grade 3 a les limites en métaux traces les plus strictes (≤ 0,01 ppb pour chaque élément indiqué) et est spécifié sur une base granulométrique plus fine (≥ 0,05 à ≥ 0,5 µm).
La fiche technique indique-t-elle un grade SEMI C28 ?
La fiche technique spécifie les grades semi-conducteur 1, 2 et 3 par ses propres limites et n’indique aucune désignation de grade SEMI C28. La norme SEMI C28 (Specification and Guide for Hydrofluoric Acid) normalise les exigences applicables à l’acide fluorhydrique utilisé dans l’industrie des semi-conducteurs, ainsi que les méthodes d’essai associées. Comparez les limites de la fiche technique au grade exigé par votre procédé.
Quelles limites s’appliquent aux métaux traces ?
Chacun des 34 éléments indiqués (Al, Sb, As, Ba, Be, Bi, B, Cd, Ca, Cr, Co, Cu, Ga, Ge, Au, Fe, Pb, Li, Mg, Mn, Mo, Ni, Nb, K, Ag, Na, Sr, Ta, Tl, Sn, Ti, V, Zn, Zr) est limité à ≤ 1 ppb en grade 1, ≤ 0,1 ppb en grade 2 et ≤ 0,01 ppb en grade 3.
Quelles limites s’appliquent aux particules ?
Grades 1 et 2, par mL : ≤ 100 pour ≥ 0,2 µm ; ≤ 20 pour ≥ 0,3 µm ; ≤ 5 pour ≥ 0,5 µm ; ≤ 1 pour ≥ 1,0 µm. Grade 3, par mL : ≤ 250 pour ≥ 0,05 µm ; ≤ 80 pour ≥ 0,1 µm ; ≤ 40 pour ≥ 0,2 µm ; ≤ 1 pour ≥ 0,5 µm. Le grade 3 est spécifié sur une base granulométrique différente de celle des grades 1 et 2.
Quelles limites s’appliquent aux anions et au H2SiF6 ?
H2SiF6 grade 1 : ≤ 5, grade 2 : ≤ 1, grade 3 : ≤ 1 ppm ; Cl grade 1 : ≤ 20, grade 2 : ≤ 10, grade 3 : ≤ 10 ppb ; NO3 grade 1 : ≤ 20, grade 2 : ≤ 10, grade 3 : ≤ 10 ppb ; PO4 grade 1 : ≤ 20, grade 2 : ≤ 10, grade 3 : ≤ 10 ppb ; SO4 grade 1 : ≤ 50, grade 2 : ≤ 10, grade 3 : ≤ 10 ppb.
Comment le produit est-il conditionné ?
En fûts plastiques neufs de 235 kg nets. Les fûts doivent porter le marquage de marchandise dangereuse requis, le numéro ONU et les plaques-étiquettes. Durée de conservation : 1 an. Consultez la FDS pour le stockage et l’élimination.
La fiche technique donne-t-elle des valeurs typiques ou des méthodes d’essai ?
Non. Elle n’indique que des limites de spécification par grade. Les spécifications qui font foi sont celles figurant sur le certificat d’analyse (CoA) propre au lot et dans le contrat de vente. Consultez la fiche de données de sécurité (FDS) avant toute manipulation.
Le HF à 49 % est-il utilisé non dilué dans les usines de semi-conducteurs ?
Selon l’EPA (Agence américaine de protection de l’environnement), le HF aqueux d’ultra-haute pureté utilisé dans la fabrication des puces semi-conductrices est généralement acheté sous sa forme la plus concentrée, à 49 %, mais il est le plus souvent utilisé en solutions beaucoup plus diluées, de 1 à 10 %.
Quels matériaux de récipient sont compatibles avec le HF ?
Les solutions de gravure à base de HF doivent être manipulées dans des récipients et des outils en polypropylène, PEHD, PTFE, PVDF ou d’autres plastiques similaires, et non en verre, que le HF attaque. Le polyéthylène haute densité résiste aux solutions d’acide fluorhydrique jusqu’à 70 % à des températures jusqu’à 60 °C ; le polypropylène et le PVC ne sont pas recommandés comme matériau de construction unique sans renfort en composite résine/fibres (la fibre de verre est à éviter).
Produits associés
Conditionnement de ce grade : fûts plastiques neufs de 235 kg nets. Les fûts doivent porter le marquage de marchandise dangereuse requis, le numéro ONU et les plaques-étiquettes. Durée de conservation : 1 an. Consultez la FDS pour le stockage et l’élimination.
Matériaux compatibles : les solutions de gravure à base de HF doivent être manipulées dans des récipients et des outils en polypropylène, PEHD, PTFE, PVDF ou d’autres plastiques similaires, et non en verre, que le HF attaque (IEEE Journal of Microelectromechanical Systems, 1996). Le polyéthylène haute densité résiste aux solutions d’acide fluorhydrique jusqu’à 70 % à des températures jusqu’à 60 °C ; le polypropylène et le PVC ne sont pas recommandés comme matériau de construction unique sans renfort en composite résine/fibres (la fibre de verre est à éviter). Le PVDF présente une bonne résistance à l’AHF (HF anhydre) et au HF jusqu’à au moins 90 °C selon la nuance ; le FEP, le PFA et l’ETFE sont utilisés pour leur résistance et leur perméabilité plus faible que celle du PTFE (recommandations de l’industrie sur les matériaux de construction).
Matériaux à éviter : le verre et les métaux réactifs titane, zirconium et tantale sont facilement attaqués par l’acide fluorhydrique, et tout alliage dont la résistance à la corrosion repose sur un film d’oxyde passif se comporte mal, car le HF dissout la plupart des oxydes. Les céramiques, le verre, les briques et les fibres minérales contenant de la silice sont fortement attaqués par l’AHF/HF, même dilué et à basse température, et ne doivent pas être utilisés ; le carbure de silicium n’est utilisable sur toute la plage de concentrations que s’il ne contient pas de silicium libre (recommandations de l’industrie sur les matériaux de construction).
Consultez la fiche de données de sécurité (FDS) avant toute manipulation, tout stockage, tout transport ou toute élimination.