O que é o ácido fluorídrico 49% de grau semicondutor?
Ácido fluorídrico aquoso (CAS 7664-39-3) com 48,8 – 49,2% em massa de HF, especificado nos graus 1, 2 e 3 para semicondutores. Os graus diferem em cor (≤ 10 ou ≤ 5 APHA), H2SiF6 (≤ 5 ou ≤ 1 ppm), cloreto, nitrato e fosfato (≤ 20 ou ≤ 10 ppb), sulfato (≤ 50 ou ≤ 10 ppb), cada um dos 34 metais traço listados (≤ 1, ≤ 0,1 ou ≤ 0,01 ppb) e em contagem de partículas por mL. Segundo a EPA, o HF aquoso de ultra-alta pureza usado na fabricação de chips semicondutores costuma ser comprado na sua forma mais concentrada, a 49%, mas normalmente é usado em soluções muito mais diluídas, de 1 a 10%.
- ▸ Processamento úmido de semicondutores: segundo a EPA, o HF aquoso de ultra-alta pureza usado na fabricação de chips semicondutores costuma ser comprado na sua forma mais concentrada, a 49%, mas normalmente é usado em soluções muito mais diluídas, de 1 a 10%.
- ▸ Corrosão de óxido com HF tamponado (BOE): a solução tamponada NH4F:HF (BOE, buffered oxide etch) é usada rotineiramente na fabricação eletrônica porque proporciona taxas de corrosão mais estáveis que o HF não tamponado e tem pressão de vapor comparativamente menor. As proporções comerciais de BOE NH4F:HF (por exemplo 6:1 ou 20:1) são normalmente expressas como a razão em volume entre uma solução de NH4F a 40% em massa e HF a 49% em massa.
- ▸ Remoção de óxido nativo: a corrosão com fluoretos aquosos (HF e NH4F:HF) tem sido usada em vidro de sílica para a limpeza do vidro, a remoção de óxido nativo no processamento de lâminas (wafers) de silício e a gravação de redes de difração e outras estruturas sobre vidro.
A ficha técnica informa limites de especificação por grau; não informa valores típicos nem métodos de ensaio. As especificações vinculantes são as que constam do certificado de análise (CoA) do lote e do contrato de venda. Consulte a ficha de dados de segurança (FDS) antes de manusear o produto.
A Ficha de Dados de Segurança (SDS) específica do grau — com a classificação completa de perigos, precauções de manuseio e informações de transporte — é fornecida com cada remessa e está disponível mediante solicitação. Confirme todos os dados de segurança e regulatórios na SDS do seu grau específico.
Solicitar SDS →
Transport classification per the UN Model Regulations / 49 CFR 172.101 Hazardous Materials Table. Confirm against the grade-specific SDS (Section 14) before shipping.
O ácido fluorídrico 49% de grau semicondutor (CAS 7664-39-3) é ácido fluorídrico especificado para uso em semicondutores nos graus 1, 2 e 3, com limites de ânions, de 34 metais traço e de partículas. A ficha técnica (PDF, em inglês) pode ser baixada na seção “Documentos” desta página.
Perguntas frequentes
Quais graus a ficha técnica especifica?
Os graus 1, 2 e 3 para semicondutores. Os três têm teor de HF de 48,8 – 49,2% em massa; diferem nos limites de cor, H2SiF6, ânions, metais traço e partículas. O grau 3 tem os limites de metais traço mais rigorosos (≤ 0,01 ppb para cada elemento listado) e tem a contagem de partículas especificada em tamanhos menores (≥ 0,05 a ≥ 0,5 µm).
A ficha técnica indica um grau SEMI C28?
A ficha técnica especifica os graus 1, 2 e 3 para semicondutores por seus próprios limites e não indica nenhuma designação de grau SEMI C28. A SEMI C28 (Specification and Guide for Hydrofluoric Acid) padroniza os requisitos do ácido fluorídrico usado na indústria de semicondutores e os procedimentos de ensaio correspondentes. Compare os limites da ficha técnica com o grau que o seu processo exige.
Quais limites de metais traço se aplicam?
Cada um dos 34 elementos listados (Al, Sb, As, Ba, Be, Bi, B, Cd, Ca, Cr, Co, Cu, Ga, Ge, Au, Fe, Pb, Li, Mg, Mn, Mo, Ni, Nb, K, Ag, Na, Sr, Ta, Tl, Sn, Ti, V, Zn, Zr) é limitado a ≤ 1 ppb no grau 1, ≤ 0,1 ppb no grau 2 e ≤ 0,01 ppb no grau 3.
Quais limites de partículas se aplicam?
Graus 1 e 2, por mL: ≤ 100 partículas ≥ 0,2 µm; ≤ 20 partículas ≥ 0,3 µm; ≤ 5 partículas ≥ 0,5 µm; ≤ 1 partícula ≥ 1,0 µm. Grau 3, por mL: ≤ 250 partículas ≥ 0,05 µm; ≤ 80 partículas ≥ 0,1 µm; ≤ 40 partículas ≥ 0,2 µm; ≤ 1 partícula ≥ 0,5 µm. A contagem de partículas do grau 3 é especificada em faixas de tamanho diferentes das dos graus 1 e 2.
Quais limites de ânions e de H2SiF6 se aplicam?
H2SiF6 grau 1: ≤ 5, grau 2: ≤ 1, grau 3: ≤ 1 ppm; Cl grau 1: ≤ 20, grau 2: ≤ 10, grau 3: ≤ 10 ppb; NO3 grau 1: ≤ 20, grau 2: ≤ 10, grau 3: ≤ 10 ppb; PO4 grau 1: ≤ 20, grau 2: ≤ 10, grau 3: ≤ 10 ppb; SO4 grau 1: ≤ 50, grau 2: ≤ 10, grau 3: ≤ 10 ppb.
Como é embalado?
Em tambores plásticos novos de 235 kg líquidos. Os tambores devem ter a marcação de produto perigoso, o número ONU e os rótulos de risco correspondentes. Validade: 1 ano. Consulte a ficha de dados de segurança (FDS, antiga FISPQ) para armazenamento e descarte.
A ficha técnica informa valores típicos ou métodos de ensaio?
Não. Ela informa apenas limites de especificação por grau. As especificações vinculantes são as que constam do certificado de análise (CoA) do lote e do contrato de venda. Consulte a ficha de dados de segurança (FDS) antes de manusear o produto.
O HF a 49% é usado sem diluição nas fábricas de semicondutores?
Segundo a EPA (Agência de Proteção Ambiental dos EUA), o HF aquoso de ultra-alta pureza usado na fabricação de chips semicondutores costuma ser comprado na sua forma mais concentrada, a 49%, mas normalmente é usado em soluções muito mais diluídas, de 1 a 10%.
Quais materiais de recipiente são compatíveis com o HF?
Soluções de corrosão à base de HF devem ser manuseadas em recipientes e ferramentas de polipropileno, PEAD, PTFE, PVDF ou plásticos semelhantes, e não de vidro, que o HF ataca. O polietileno de alta densidade resiste a soluções de ácido fluorídrico de até 70% a temperaturas de até 60 °C; o polipropileno e o PVC não são recomendados como material de construção único sem reforço de resina/fibra (a fibra de vidro deve ser evitada).
Produtos relacionados
Embalagem deste grau: tambores plásticos novos de 235 kg líquidos. Os tambores devem ter a marcação de produto perigoso, o número ONU e os rótulos de risco correspondentes. Validade: 1 ano. Consulte a ficha de dados de segurança (FDS, antiga FISPQ) para armazenamento e descarte.
Materiais compatíveis: soluções de corrosão à base de HF devem ser manuseadas em recipientes e ferramentas de polipropileno, PEAD, PTFE, PVDF ou plásticos semelhantes, e não de vidro, que o HF ataca (IEEE Journal of Microelectromechanical Systems, 1996). O polietileno de alta densidade resiste a soluções de ácido fluorídrico de até 70% a temperaturas de até 60 °C; o polipropileno e o PVC não são recomendados como material de construção único sem reforço de resina/fibra (a fibra de vidro deve ser evitada). O PVDF tem boa resistência ao AHF (HF anidro) e ao HF até pelo menos 90 °C, conforme o grau do PVDF; FEP, PFA e ETFE são usados por sua resistência e por terem taxa de permeação menor que a do PTFE (orientação do setor sobre materiais de construção).
Materiais a evitar: o vidro e os metais reativos titânio, zircônio e tântalo são facilmente atacados pelo ácido fluorídrico, e qualquer liga cuja resistência à corrosão dependa de um filme de óxido passivo tem desempenho ruim, porque o HF dissolve a maioria dos óxidos. Cerâmicas, vidro, tijolos e fibras minerais que contêm sílica são fortemente atacados pelo AHF/HF mesmo diluído e a baixa temperatura, e não devem ser usados; o carbeto de silício só pode ser usado em toda a faixa de concentração se não contiver silício livre (orientação do setor sobre materiais de construção).
Consulte a ficha de dados de segurança (FDS) antes do manuseio, armazenamento, transporte ou descarte.