Was ist Flusssäure 49 % in Halbleiterqualität?
Wässrige Flusssäure (CAS 7664-39-3) mit 48,8 – 49,2 Massen-% HF, spezifiziert in den Halbleiter-Grades 1, 2 und 3. Die Grades unterscheiden sich in Farbe (≤ 10 oder ≤ 5 APHA), H2SiF6 (≤ 5 oder ≤ 1 ppm), Chlorid, Nitrat und Phosphat (≤ 20 oder ≤ 10 ppb), Sulfat (≤ 50 oder ≤ 10 ppb), jedem der 34 aufgeführten Spurenmetalle (≤ 1, ≤ 0,1 oder ≤ 0,01 ppb) und der Partikelzahl je mL. Laut der US-Umweltbehörde EPA wird die ultrahochreine wässrige HF für die Halbleiterchip-Fertigung in der Regel in ihrer konzentriertesten Form mit 49 % eingekauft, aber meist in wesentlich stärker verdünnten Lösungen mit 1 bis 10 % verwendet.
- ▸ Nassprozesse in der Halbleiterfertigung: Laut der US-Umweltbehörde EPA wird die ultrahochreine wässrige HF für die Halbleiterchip-Fertigung in der Regel in ihrer konzentriertesten Form mit 49 % eingekauft, aber meist in wesentlich stärker verdünnten Lösungen mit 1 bis 10 % verwendet.
- ▸ Gepufferte Oxidätze (BOE): Gepufferte NH4F:HF-Oxidätze wird in der Elektronikfertigung routinemäßig eingesetzt, weil sie stabilere Ätzraten als ungepufferte HF liefert und einen vergleichsweise niedrigeren Dampfdruck hat. Handelsübliche NH4F:HF-BOE-Verhältnisse (zum Beispiel 6:1 oder 20:1) werden üblicherweise als Volumenverhältnis von 40 Massen-% NH4F-Lösung zu 49 Massen-% HF angegeben.
- ▸ Entfernung von nativem Oxid: Wässrige Fluoridätzung (HF und NH4F:HF) wird an Quarzglas zur Glasreinigung, zur Entfernung von nativem Oxid bei der Bearbeitung von Siliziumwafern und zum Ätzen von Beugungsgittern und anderen Strukturen auf Glas eingesetzt.
Das Datenblatt nennt Spezifikationsgrenzwerte je Grade; es nennt weder typische Werte noch Prüfverfahren. Verbindlich sind die Spezifikationen im chargenspezifischen Analysenzertifikat (CoA) und im Kaufvertrag. Beachten Sie vor der Handhabung das Sicherheitsdatenblatt.
Das sortenspezifische Sicherheitsdatenblatt (SDS) — mit vollständiger Gefahreneinstufung, Handhabungshinweisen und Transportinformationen — liegt jeder Lieferung bei und ist auf Anfrage erhältlich. Prüfen Sie alle Sicherheits- und Zulassungsangaben anhand des SDS für Ihre spezifische Sorte.
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Transport classification per the UN Model Regulations / 49 CFR 172.101 Hazardous Materials Table. Confirm against the grade-specific SDS (Section 14) before shipping.
Flusssäure 49 % in Halbleiterqualität (CAS 7664-39-3) ist Flusssäure für den Halbleitereinsatz, spezifiziert in den Grades 1, 2 und 3 mit Grenzwerten für Anionen, 34 Spurenmetalle und Partikel. Das technische Datenblatt (PDF, auf Englisch) steht im Bereich „Dokumente“ dieser Seite zum Download bereit.
Häufig gestellte Fragen
Welche Grades spezifiziert das Datenblatt?
Die Halbleiter-Grades 1, 2 und 3. Alle drei haben einen HF-Gehalt von 48,8 – 49,2 Massen-%; sie unterscheiden sich in den Grenzwerten für Farbe, H2SiF6, Anionen, Spurenmetalle und Partikel. Grade 3 hat die strengsten Spurenmetall-Grenzwerte (≤ 0,01 ppb je aufgeführtes Element) und ist für feinere Partikelgrößen spezifiziert (≥ 0,05 bis ≥ 0,5 µm).
Nennt das Datenblatt einen SEMI-C28-Grade?
Das Datenblatt spezifiziert die Halbleiter-Grades 1, 2 und 3 anhand eigener Grenzwerte und nennt keine SEMI-C28-Grade-Bezeichnung. SEMI C28 (Specification and Guide for Hydrofluoric Acid) standardisiert die Anforderungen an Flusssäure für die Halbleiterindustrie und die zugehörigen Prüfverfahren. Vergleichen Sie die Grenzwerte im Datenblatt mit dem Grade, den Ihr Prozess vorschreibt.
Welche Grenzwerte gelten für Spurenmetalle?
Jedes der 34 aufgeführten Elemente (Al, Sb, As, Ba, Be, Bi, B, Cd, Ca, Cr, Co, Cu, Ga, Ge, Au, Fe, Pb, Li, Mg, Mn, Mo, Ni, Nb, K, Ag, Na, Sr, Ta, Tl, Sn, Ti, V, Zn, Zr) ist in Grade 1 auf ≤ 1 ppb, in Grade 2 auf ≤ 0,1 ppb und in Grade 3 auf ≤ 0,01 ppb begrenzt.
Welche Grenzwerte gelten für Partikel?
Grades 1 und 2, je mL: ≤ 100 bei ≥ 0,2 µm; ≤ 20 bei ≥ 0,3 µm; ≤ 5 bei ≥ 0,5 µm; ≤ 1 bei ≥ 1,0 µm. Grade 3, je mL: ≤ 250 bei ≥ 0,05 µm; ≤ 80 bei ≥ 0,1 µm; ≤ 40 bei ≥ 0,2 µm; ≤ 1 bei ≥ 0,5 µm. Für Grade 3 gelten andere Partikelgrößenklassen als für die Grades 1 und 2.
Welche Grenzwerte gelten für Anionen und H2SiF6?
H2SiF6 Grade 1: ≤ 5, Grade 2: ≤ 1, Grade 3: ≤ 1 ppm; Cl Grade 1: ≤ 20, Grade 2: ≤ 10, Grade 3: ≤ 10 ppb; NO3 Grade 1: ≤ 20, Grade 2: ≤ 10, Grade 3: ≤ 10 ppb; PO4 Grade 1: ≤ 20, Grade 2: ≤ 10, Grade 3: ≤ 10 ppb; SO4 Grade 1: ≤ 50, Grade 2: ≤ 10, Grade 3: ≤ 10 ppb.
Wie wird das Produkt verpackt?
In neuen Kunststofffässern mit 235 kg netto. Die Fässer müssen die vorgeschriebene Gefahrgutkennzeichnung, die UN-Nummer und die Großzettel (Placards) tragen. Haltbarkeit: 1 Jahr. Beachten Sie zu Lagerung und Entsorgung das Sicherheitsdatenblatt.
Nennt das Datenblatt typische Werte oder Prüfverfahren?
Nein. Es nennt nur Spezifikationsgrenzwerte je Grade. Verbindlich sind die Spezifikationen im chargenspezifischen Analysenzertifikat (CoA) und im Kaufvertrag. Beachten Sie vor der Handhabung das Sicherheitsdatenblatt.
Wird 49%ige HF in Halbleiterfabriken unverdünnt eingesetzt?
Laut der US-Umweltbehörde EPA wird die ultrahochreine wässrige HF für die Halbleiterchip-Fertigung in der Regel in ihrer konzentriertesten Form mit 49 % eingekauft, aber meist in wesentlich stärker verdünnten Lösungen mit 1 bis 10 % verwendet.
Welche Behälterwerkstoffe sind mit HF verträglich?
HF-haltige Ätzlösungen sollten in Behältern und Geräten aus Polypropylen, HDPE, PTFE, PVDF oder ähnlichen Kunststoffen gehandhabt werden, nicht in Glas, das von HF angegriffen wird. Polyethylen hoher Dichte ist gegen Flusssäurelösungen bis 70 % bei Temperaturen bis 60 °C beständig; Polypropylen und PVC werden ohne Harz/Faser-Verstärkung nicht als alleiniger Konstruktionswerkstoff empfohlen (Glasfaser ist zu vermeiden).
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Verpackung für diese Qualität: neue Kunststofffässer mit 235 kg netto. Die Fässer müssen die vorgeschriebene Gefahrgutkennzeichnung, die UN-Nummer und die Großzettel (Placards) tragen. Haltbarkeit: 1 Jahr. Beachten Sie zu Lagerung und Entsorgung das Sicherheitsdatenblatt.
Verträgliche Werkstoffe: HF-haltige Ätzlösungen sollten in Behältern und Geräten aus Polypropylen, HDPE, PTFE, PVDF oder ähnlichen Kunststoffen gehandhabt werden, nicht in Glas, das von HF angegriffen wird (IEEE Journal of Microelectromechanical Systems, 1996). Polyethylen hoher Dichte ist gegen Flusssäurelösungen bis 70 % bei Temperaturen bis 60 °C beständig; Polypropylen und PVC werden ohne Harz/Faser-Verstärkung nicht als alleiniger Konstruktionswerkstoff empfohlen (Glasfaser ist zu vermeiden). PVDF ist je nach Typ bis mindestens 90 °C gut beständig gegen AHF (wasserfreien Fluorwasserstoff) und HF; FEP, PFA und ETFE werden wegen ihrer Beständigkeit und ihrer im Vergleich zu PTFE geringeren Permeation eingesetzt (Werkstoffleitfaden der Branche).
Zu vermeidende Werkstoffe: Glas und die reaktiven Metalle Titan, Zirkonium und Tantal werden von Flusssäure leicht angegriffen, und jede Legierung, deren Korrosionsbeständigkeit auf einer passiven Oxidschicht beruht, ist wenig beständig, weil HF die meisten Oxide löst. Siliziumdioxidhaltige Keramik, Glas, Ziegel und Mineralfasern werden von AHF/HF selbst in verdünnter Form und bei niedriger Temperatur stark angegriffen und dürfen nicht verwendet werden; Siliziumkarbid ist über den gesamten Konzentrationsbereich nur verwendbar, wenn es kein freies Silizium enthält (Werkstoffleitfaden der Branche).
Beachten Sie vor Handhabung, Lagerung, Transport oder Entsorgung das Sicherheitsdatenblatt.