반도체 등급 불화수소산 49%란 무엇입니까?
HF 농도 48.8 – 49.2 wt %의 불화수소산 수용액(CAS 7664-39-3)이며, 반도체 그레이드 1, 2, 3으로 규정됩니다. 등급 간에는 색도(≤ 10 또는 ≤ 5 APHA), H2SiF6(≤ 5 또는 ≤ 1 ppm), 염화 이온·질산 이온·인산 이온(≤ 20 또는 ≤ 10 ppb), 황산 이온(≤ 50 또는 ≤ 10 ppb), 기재된 34종 미량 금속 각각(≤ 1, ≤ 0.1 또는 ≤ 0.01 ppb), mL당 파티클 수가 다릅니다. EPA에 따르면, 반도체 칩 제조에 쓰이는 초고순도 HF 수용액은 일반적으로 가장 진한 형태인 49%로 구매되지만, 사용할 때는 보통 1~10%의 훨씬 묽은 용액으로 쓰입니다.
- ▸ 반도체 습식 공정: EPA에 따르면, 반도체 칩 제조에 쓰이는 초고순도 HF 수용액은 일반적으로 가장 진한 형태인 49%로 구매되지만, 사용할 때는 보통 1~10%의 훨씬 묽은 용액으로 쓰입니다.
- ▸ 완충 산화막 식각액(BOE): NH4F:HF 완충 산화막 식각액은 완충되지 않은 HF보다 식각 속도가 안정적이고 증기압이 비교적 낮아 전자 제조 공정에서 통상적으로 사용됩니다. 상용 NH4F:HF BOE 비율(예: 6:1, 20:1)은 일반적으로 40 wt% NH4F 용액 대 49 wt% HF의 부피비로 표시됩니다.
- ▸ 자연 산화막 제거: 불화물 수용액 식각(HF 및 NH4F:HF)은 실리카 유리 세정, 실리콘 웨이퍼 공정의 자연 산화막 제거, 유리 표면의 회절격자 및 기타 구조물 식각에 사용되어 왔습니다.
데이터 시트에는 등급별 규격값이 기재되어 있으며, 대표값도 시험 방법도 기재되어 있지 않습니다. 구속력 있는 규격은 로트별 시험성적서(CoA)와 매매 계약서에 명시된 내용입니다. 취급 전에 물질안전보건자료(SDS)를 참조하십시오.
등급별 안전보건자료(SDS) — 완전한 유해성 분류, 취급 주의사항 및 운송 정보 포함 — 는 모든 출하 시 제공되며 요청 시 이용하실 수 있습니다. 모든 안전 및 규제 정보는 해당 등급의 SDS를 기준으로 확인하십시오.
SDS 요청 →
Transport classification per the UN Model Regulations / 49 CFR 172.101 Hazardous Materials Table. Confirm against the grade-specific SDS (Section 14) before shipping.
불화수소산 49% 반도체 등급(CAS 7664-39-3)은 반도체 용도로 그레이드 1·2·3이 규정된 불화수소산으로, 음이온, 34종 미량 금속 및 파티클에 대한 규격값이 정해져 있습니다. 기술 데이터 시트(PDF, 영문)는 '문서' 항목에서 내려받을 수 있습니다.
자주 묻는 질문
데이터 시트에는 어떤 등급이 규정되어 있습니까?
반도체 그레이드 1, 2, 3입니다. 세 등급 모두 HF 농도는 48.8 – 49.2 wt %이며, 색도, H2SiF6, 음이온, 미량 금속, 파티클 규격값이 다릅니다. 그레이드 3은 미량 금속 규격이 가장 엄격하며(기재된 각 원소 ≤ 0.01 ppb), 더 미세한 입경 기준(≥ 0.05 ~ ≥ 0.5 μm)으로 규정됩니다.
SEMI C28의 어느 등급에 해당합니까?
데이터 시트는 자체 규격값으로 반도체 그레이드 1, 2, 3을 규정하며, SEMI C28 등급 표기는 기재하지 않습니다. SEMI C28(Specification and Guide for Hydrofluoric Acid)은 반도체 산업에서 사용하는 불화수소산의 요구 사항과 이를 뒷받침하는 시험 절차를 표준화한 규격입니다. 데이터 시트의 규격값을 귀사 공정에서 지정한 등급과 비교해 주십시오.
미량 금속 규격은 어떻게 됩니까?
기재된 34종 원소(Al, Sb, As, Ba, Be, Bi, B, Cd, Ca, Cr, Co, Cu, Ga, Ge, Au, Fe, Pb, Li, Mg, Mn, Mo, Ni, Nb, K, Ag, Na, Sr, Ta, Tl, Sn, Ti, V, Zn, Zr)는 각각 그레이드 1 ≤ 1 ppb, 그레이드 2 ≤ 0.1 ppb, 그레이드 3 ≤ 0.01 ppb로 제한됩니다.
파티클 규격은 어떻게 됩니까?
그레이드 1·2(mL당) — ≥ 0.2 μm: ≤ 100개; ≥ 0.3 μm: ≤ 20개; ≥ 0.5 μm: ≤ 5개; ≥ 1.0 μm: ≤ 1개. 그레이드 3(mL당) — ≥ 0.05 μm: ≤ 250개; ≥ 0.1 μm: ≤ 80개; ≥ 0.2 μm: ≤ 40개; ≥ 0.5 μm: ≤ 1개. 그레이드 3은 그레이드 1·2와 다른 입경 기준으로 규정됩니다.
음이온과 H2SiF6 규격은 어떻게 됩니까?
H2SiF6: 그레이드 1 ≤ 5, 그레이드 2 ≤ 1, 그레이드 3 ≤ 1 ppm. Cl: 그레이드 1 ≤ 20, 그레이드 2 ≤ 10, 그레이드 3 ≤ 10 ppb. NO3: 그레이드 1 ≤ 20, 그레이드 2 ≤ 10, 그레이드 3 ≤ 10 ppb. PO4: 그레이드 1 ≤ 20, 그레이드 2 ≤ 10, 그레이드 3 ≤ 10 ppb. SO4: 그레이드 1 ≤ 50, 그레이드 2 ≤ 10, 그레이드 3 ≤ 10 ppb.
포장은 어떻게 됩니까?
순중량 235 kg 신품 폴리 드럼입니다. 드럼에는 적절한 위험물 표시, UN 번호 및 표찰(플래카드)이 있어야 합니다. 유효기간: 1년. 보관 및 폐기는 SDS를 참조하십시오.
데이터 시트에 대표값이나 시험 방법이 기재되어 있습니까?
아니요. 등급별 규격값만 기재되어 있습니다. 구속력 있는 규격은 로트별 시험성적서(CoA)와 매매 계약서에 명시된 내용입니다. 취급 전에 물질안전보건자료(SDS)를 참조하십시오.
49% HF는 반도체 팹에서 원액 그대로 사용됩니까?
미국 환경보호청(EPA)에 따르면, 반도체 칩 제조에 쓰이는 초고순도 HF 수용액은 일반적으로 가장 진한 형태인 49%로 구매되지만, 사용할 때는 보통 1~10%의 훨씬 묽은 용액으로 쓰입니다.
HF에 적합한 용기 재질은 무엇입니까?
HF 계열 식각액은 폴리프로필렌, HDPE, PTFE, PVDF 등 플라스틱 용기와 도구로 취급해야 하며, HF에 침식되는 유리는 사용하지 않아야 합니다. 고밀도 폴리에틸렌은 60 °C 이하에서 70% 이하의 불화수소산 용액에 내성이 있습니다. 폴리프로필렌과 PVC는 수지·섬유 보강 없이 단일 재질로 사용하는 것이 권장되지 않습니다(유리섬유는 피해야 합니다).
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이 등급의 포장: 순중량 235 kg 신품 폴리 드럼. 드럼에는 적절한 위험물 표시, UN 번호 및 표찰(플래카드)이 있어야 합니다. 유효기간: 1년. 보관 및 폐기는 SDS를 참조하십시오.
적합 재질: HF 계열 식각액은 폴리프로필렌, HDPE, PTFE, PVDF 등 플라스틱 용기와 도구로 취급해야 하며, HF에 침식되는 유리는 사용하지 않아야 합니다(IEEE Journal of Microelectromechanical Systems, 1996). 고밀도 폴리에틸렌은 60 °C 이하에서 70% 이하의 불화수소산 용액에 내성이 있습니다. 폴리프로필렌과 PVC는 수지·섬유 보강 없이 단일 재질로 사용하는 것이 권장되지 않습니다(유리섬유는 피해야 합니다). PVDF는 등급에 따라 최소 90 °C까지 AHF(무수 불화수소)/HF에 양호한 내성을 보이며, FEP, PFA, ETFE는 내성과 함께 PTFE보다 투과성이 낮아 사용됩니다(업계 재질 선정 지침).
피해야 할 재질: 유리와 반응성 금속인 티타늄, 지르코늄, 탄탈럼은 불화수소산에 쉽게 침식됩니다. 또한 HF는 대부분의 산화물을 녹이므로, 부동태 산화 피막에 내식성을 의존하는 합금은 성능이 떨어집니다. 실리카를 함유한 세라믹, 유리, 벽돌, 광물 섬유는 묽은 농도·저온 조건에서도 AHF/HF에 심하게 침식되므로 사용해서는 안 됩니다. 탄화규소는 유리(遊離) 규소를 함유하지 않는 경우에만 전 농도 범위에서 사용할 수 있습니다(업계 재질 선정 지침).
취급, 보관, 운송, 폐기 전에 물질안전보건자료(SDS)를 참조하십시오.