¿Qué es el ácido fluorhídrico al 49 % de grado semiconductor?
Ácido fluorhídrico acuoso (CAS 7664-39-3) con 48,8 – 49,2 % en peso de HF, especificado en los grados semiconductor 1, 2 y 3. Los grados se diferencian en color (≤ 10 o ≤ 5 APHA), H2SiF6 (≤ 5 o ≤ 1 ppm), cloruro, nitrato y fosfato (≤ 20 o ≤ 10 ppb), sulfato (≤ 50 o ≤ 10 ppb), cada uno de los 34 metales traza indicados (≤ 1, ≤ 0,1 o ≤ 0,01 ppb) y el recuento de partículas por mL. Según la EPA (Agencia de Protección Ambiental de EE. UU.), el HF acuoso de ultra alta pureza que se usa en la fabricación de chips semiconductores suele comprarse en su forma más concentrada, al 49 %, pero normalmente se utiliza en soluciones mucho más diluidas, del 1 al 10 %.
- ▸ Procesos húmedos de semiconductores: según la EPA, el HF acuoso de ultra alta pureza que se usa en la fabricación de chips semiconductores suele comprarse en su forma más concentrada, al 49 %, pero normalmente se utiliza en soluciones mucho más diluidas, del 1 al 10 %.
- ▸ Grabado de óxido tamponado (BOE): el grabado de óxido tamponado NH4F:HF se usa habitualmente en la fabricación electrónica porque ofrece velocidades de grabado más estables que el HF sin tamponar y una presión de vapor comparativamente menor. Las proporciones comerciales de BOE NH4F:HF (por ejemplo 6:1 o 20:1) suelen expresarse como la relación en volumen entre una solución de NH4F al 40 % en peso y HF al 49 % en peso.
- ▸ Eliminación del óxido nativo: el grabado con fluoruros acuosos (HF y NH4F:HF) se ha utilizado sobre vidrio de sílice para la limpieza del vidrio, la eliminación del óxido nativo en el procesamiento de obleas de silicio y el grabado de redes de difracción y otras estructuras sobre vidrio.
La hoja de datos indica límites de especificación por grado; no indica valores típicos ni métodos de ensayo. Las especificaciones vinculantes son las que figuran en el certificado de análisis (CoA) del lote y en el contrato de venta. Consulte la hoja de datos de seguridad (SDS) antes de manipular el producto.
La Hoja de Datos de Seguridad (SDS) específica del grado — con la clasificación completa de peligros, las precauciones de manipulación y la información de transporte — se suministra con cada envío y está disponible previa solicitud. Confirme todos los datos de seguridad y regulatorios con la SDS de su grado específico.
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Transport classification per the UN Model Regulations / 49 CFR 172.101 Hazardous Materials Table. Confirm against the grade-specific SDS (Section 14) before shipping.
El ácido fluorhídrico al 49 % de grado semiconductor (CAS 7664-39-3) es ácido fluorhídrico especificado para uso en semiconductores en los grados 1, 2 y 3, con límites de aniones, de 34 metales traza y de partículas. La hoja de datos técnicos (PDF, en inglés) se descarga en el apartado «Documentos» de esta página.
Preguntas frecuentes
¿Qué grados especifica la hoja de datos?
Los grados semiconductor 1, 2 y 3. Los tres tienen un contenido de HF de 48,8 – 49,2 % en peso; se diferencian en los límites de color, H2SiF6, aniones, metales traza y partículas. El grado 3 tiene los límites de metales traza más estrictos (≤ 0,01 ppb para cada elemento indicado) y se especifica con umbrales de tamaño de partícula más finos (de ≥ 0,05 a ≥ 0,5 µm).
¿La hoja de datos indica algún grado SEMI C28?
La hoja de datos especifica los grados semiconductor 1, 2 y 3 con sus propios límites y no indica ninguna designación de grado SEMI C28. SEMI C28 (Specification and Guide for Hydrofluoric Acid) normaliza los requisitos del ácido fluorhídrico utilizado en la industria de semiconductores y los procedimientos de ensayo correspondientes. Compare los límites de la hoja de datos con el grado que exige su proceso.
¿Qué límites de metales traza se aplican?
Cada uno de los 34 elementos indicados (Al, Sb, As, Ba, Be, Bi, B, Cd, Ca, Cr, Co, Cu, Ga, Ge, Au, Fe, Pb, Li, Mg, Mn, Mo, Ni, Nb, K, Ag, Na, Sr, Ta, Tl, Sn, Ti, V, Zn, Zr) está limitado a ≤ 1 ppb en el grado 1, ≤ 0,1 ppb en el grado 2 y ≤ 0,01 ppb en el grado 3.
¿Qué límites de partículas se aplican?
Grados 1 y 2, partículas por mL: ≤ 100 (≥ 0,2 µm); ≤ 20 (≥ 0,3 µm); ≤ 5 (≥ 0,5 µm); ≤ 1 (≥ 1,0 µm). Grado 3, partículas por mL: ≤ 250 (≥ 0,05 µm); ≤ 80 (≥ 0,1 µm); ≤ 40 (≥ 0,2 µm); ≤ 1 (≥ 0,5 µm). El grado 3 se especifica con umbrales de tamaño de partícula distintos de los de los grados 1 y 2.
¿Qué límites de aniones y de H2SiF6 se aplican?
H2SiF6 grado 1: ≤ 5, grado 2: ≤ 1, grado 3: ≤ 1 ppm; Cl grado 1: ≤ 20, grado 2: ≤ 10, grado 3: ≤ 10 ppb; NO3 grado 1: ≤ 20, grado 2: ≤ 10, grado 3: ≤ 10 ppb; PO4 grado 1: ≤ 20, grado 2: ≤ 10, grado 3: ≤ 10 ppb; SO4 grado 1: ≤ 50, grado 2: ≤ 10, grado 3: ≤ 10 ppb.
¿Cómo se envasa?
En tambores de plástico nuevos de 235 kg netos. Los tambores deben llevar el marcado de mercancía peligrosa, el número ONU y los rótulos correspondientes. Vida útil: 1 año. Consulte la SDS para el almacenamiento y la eliminación.
¿La hoja de datos indica valores típicos o métodos de ensayo?
No. Solo indica límites de especificación por grado. Las especificaciones vinculantes son las que figuran en el certificado de análisis (CoA) del lote y en el contrato de venta. Consulte la hoja de datos de seguridad (SDS) antes de manipular el producto.
¿Se usa el HF al 49 % sin diluir en las fábricas de semiconductores?
Según la EPA (Agencia de Protección Ambiental de EE. UU.), el HF acuoso de ultra alta pureza que se usa en la fabricación de chips semiconductores suele comprarse en su forma más concentrada, al 49 %, pero normalmente se utiliza en soluciones mucho más diluidas, del 1 al 10 %.
¿Qué materiales de recipiente son compatibles con el HF?
Las soluciones de grabado a base de HF deben manipularse en recipientes y utensilios de polipropileno, HDPE, PTFE, PVDF o plásticos similares, no de vidrio, que el HF ataca. El polietileno de alta densidad resiste soluciones de ácido fluorhídrico de hasta el 70 % a temperaturas de hasta 60 °C; no se recomienda el polipropileno ni el PVC como único material de construcción sin refuerzo de resina/fibra (debe evitarse la fibra de vidrio).
Productos relacionados
Envase para este grado: tambores de plástico nuevos de 235 kg netos. Los tambores deben llevar el marcado de mercancía peligrosa, el número ONU y los rótulos correspondientes. Vida útil: 1 año. Consulte la SDS para el almacenamiento y la eliminación.
Materiales compatibles: las soluciones de grabado a base de HF deben manipularse en recipientes y utensilios de polipropileno, HDPE, PTFE, PVDF o plásticos similares, no de vidrio, que el HF ataca (IEEE Journal of Microelectromechanical Systems, 1996). El polietileno de alta densidad resiste soluciones de ácido fluorhídrico de hasta el 70 % a temperaturas de hasta 60 °C; no se recomienda el polipropileno ni el PVC como único material de construcción sin refuerzo de resina/fibra (debe evitarse la fibra de vidrio). El PVDF tiene buena resistencia al AHF (HF anhidro) y al HF hasta al menos 90 °C, según el grado de PVDF; el FEP, el PFA y el ETFE se utilizan por su resistencia y por su menor velocidad de permeación que la del PTFE (guía del sector sobre materiales de construcción).
Materiales que deben evitarse: el vidrio y los metales reactivos titanio, circonio y tántalo son atacados con facilidad por el ácido fluorhídrico, y cualquier aleación cuya resistencia a la corrosión dependa de una película pasiva de óxido tiene un mal comportamiento, porque el HF disuelve la mayoría de los óxidos. Las cerámicas, el vidrio, los ladrillos y las fibras minerales que contienen sílice son atacados intensamente por el AHF/HF incluso diluido y a baja temperatura, y no deben utilizarse; el carburo de silicio solo puede usarse en todo el intervalo de concentraciones si no contiene silicio libre (guía del sector sobre materiales de construcción).
Consulte la hoja de datos de seguridad (SDS) antes de la manipulación, el almacenamiento, el transporte o la eliminación.